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MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)はマイクロシステムなどとも呼ばれ、半導体集積回路製造のための微細加工技術を使って小形で高機能なセンサをはじめとするデバイスを実現しています。現在では様々な領域で多くのMEMSセンサやアクチュエータが使用され、 IoT技術、ビックデータやAIには必要不可欠なものになっています。本セミナーでは、従来の機械的加工技術では実現できないナノメートルオーダに至る微細な形状等の加工技術の現状や先端研究事例について、さらに、その応用として、持続可能水素エネルギー社会の実現のための、水素を高感度に検出する水素ガスセンサの研究事例などを交えながら紹介します。
これからの世界を支える精密微細加工とその応用 | |||
2025年3月13日(木)14:00~16:00 | |||
たましん事業支援センター〔Winセンター〕 東京都立川市緑町3-4 多摩信用金庫本店3F |
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・IoT実現に不可欠な精密微細加工とセンサ ・高性能マイクロヒータとMEMSガスセンサの研究事例 |
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・MEMS分野における精密・微細加工技術と機械工学分野の貢献 | |||
伊藤 浩 氏 東京工業高等専門学校 電気工学科 教授 |
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東京大学大学院工学系研究科博士課程修了。博士(工学)。専門は電子材料及び半導体デバイス。 薄膜半導体プロセス、MEMSデバイスの研究に従事。 近年は将来の持続可能水素エネルギー社会に向けて、高感度なMEMS水素ガスセンサの開発に取り組んでいる。 |
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角田 陽 氏 東京工業高等専門学校 機械工学科 教授 |
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東京都立大学大学院修士課程修了。博士(工学)。専門は精密・微細加工システム工学。 機械工学に立脚した精密で微細な加工技術や生産システムの教育研究開発に取り組んでいる。 |
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参加費 | 無料 | ||
定員 | 30名 ※定員になり次第締め切らせていただきます | ||
募集締切日 | 2024年3月5日(水)17:00 | ||
主催 | 多摩信用金庫 | ||
共催 | 国立東京工業高等専門学校 |
「申し込みフォーム」からお申し込みください。
多摩信用金庫 価値創造事業部
〒190-8681
東京都立川市緑町3-4
TEL:042-526-7728(平日9:00~17:00)